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產品名稱:

半導體超純水 超純水設備

發布時間: 2024/12/25 有效時間: 2025/6/26

詳細介紹

半導體超純水

美國總統簽署了《2022芯片與科學法案》,設置“中國護欄"條款,限制企業在中國芯片產業的發展。事實上,中國芯片產業被卡脖子由來已久,原料、技術、供應鏈等方方面面深受外國掣肘,甚至是我們最常見的水,當然,這里的水指的并不是我們日常生活中的自來水,而是“超純水"。

超純水是指電阻率達到18 MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外,幾乎沒有什么雜質,更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物,也沒有人體所需的礦物質微量元素,也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。

產品介紹:

Onyx的EX-UPW-TOC產品主要由高透185nm的紫外燈管,高輸出石英套管,內外電解拋光的一體化紫外反應器,高度精確的UV強度傳感器及智能自控系統組成。

185nmUV主要用于生產超純水過程中去除TOC有機物,降低TOC出水指標,使出水滿足美國ASTM超純水水質標準及電子工業部電子級水水質標準。


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電子級水UV-TOC控制系統

半導體超純水產品規格:

處理水量

2~60m3/h

燈管配置

12~48支

燈管類型

85w/155w(185/254nm雙波段)

石英套管

T>80%@185nm

鎮流器

50~100%輸出功率可調

反應器材質

316L

潔凈等級

內外電解拋光、表面光潔度10以上(≤Ra0.2)

法蘭尺寸

DN50~DN200

額定壓力

PN10

控制柜等級

IP55,碳鋼噴塑

控制系統

本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統

UV強度傳感器

分辨率0.01mw/cm2









集成電路超純水應用領域:

1. 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路板

2. 電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗

3. 電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

4. 黑白顯像管熒光屏的生產、波殼清洗、沉淀、洗膜、管頸清洗

5. 液晶顯示器的生產、屏面清洗

6. 集成電路生產中高純水清洗硅片

7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產









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